- Halbleiter-Anwendung: Prüfgeräte / Bestückung / Die Bonding / Flying Probe
- 3 Phasen eisenloser Linearmotor System mit integriertem Encoder
- Magnetische Schaltung Dimension: L: 64mm/ B: 30mm / H: 19mm
- Auflösung des Encoders: 1µm
- Hub: 20 mm / Dauerkraft: 9,5 N